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変位センサには、測定原理や利用するストロークによりいくつかのタイプがあり、このようなことから利用用途が分類されます。静電容量型変位センサは、主に導体である物体とプローブとの間の距離の変化も静電容量として捉え、物体の位置変化を非接触計測することが可能です。このため極めて高い精度で測定を行うことが可能であり、ナノメートルオーダーでの位置変化の検出もできます。絶縁体でも測定が可能な手法も知られています。